ОАО «НИИТМ»

ОАО «Научно-исследовательский институт точного машиностроения» (НИИТМ)

НИИТМ основан в 1962 г. как ведущее предприятие электронной промышленности по созданию специального технологического оборудования для микроэлектронного производства. Несколько тысяч единиц оборудования, изготовленных по разработкам НИИТМ, составили основу полупроводникового производства СССР, а позднее – России. Разработки НИИТМ отмечены 121 медалью и 4 дипломами на многих выставках (в том числе международных), получено свыше 600 патентов и свидетельств на изобретения.

В 1993 г. НИИТМ был акционирован и в настоящее время является одной из бизнес-единиц направления «СИТРОНИКС Микроэлектроника». Сегодня НИИТМ осуществляет сервисное обслуживание оборудования «Микрона» и «ВЗПП-Микрон», в частности:

• • модернизацию оборудования, переоснащение его современными функциональными системами, что обеспечивает повышение эффективности действующих производств;
• 
  

• сервисное обслуживание оборудования;

• разработку, изготовление и поставку оборудования для известных и новых технологических процессов в таких технологиях, как наноэлектроника, микромеханика, экстремальная электроника и других;

• разработку рабочей конструкторской документации на детали, узлы и блоки оборудования в электронном виде в соответствии с требованиями действующих стандартов разработку техпроцессов по заданию Заказчика.

Приоритетное направление деятельности НИИТМ – создание оборудования для исследования и реализации инновационных технологических процессов в микро-, нано-, радиоэлектронике, микромеханике, для синтеза наноматериалов и в других областях.

Предприятие разрабатывает и изготавливает экспериментальное и опытно-промышленное оборудование для научных исследований и технического обучения, а так же для обеспечения малосерийного и опытного производства в предприятиях малого и среднего бизнеса.

ОАО «НИИТМ» специализируется на разработке и изготовлении вакуумно-плазменного оборудования для технологических процессов нанесения тонких пленок (магнетронное напыление, термическое испарение), плазмохимического травления, газофазного осаждения стимулированного плазмой (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition – PECVD), а также физико-термического оборудования для осуществления процессов диффузии, окисления, эпитаксии и отжига, в том числе быстрого термического.

В структуре НИИТМ работает отдел проектирования, оснащенный компьютерной техникой и современным программным обеспечением, что позволяет управлять инженерными данными и документооборотом, а также вести электронный архив. Введен в эксплуатацию экспериментально-технологический участок, где в стерильных условиях собирается и испытывается оборудование, а также отрабатываются технологические процессы.

Продукция ОАО «НИИТМ»

Вакуумно-плазменное технологическое оборудование:
• Комплект вакуумного специального технологического оборудования (индивидуальная обработка подложек диаметром до 200 мм).
• Комплект малогабаритного технологического оборудования настольного типа (“МВУ ТМ”).
• Вакуумные установки с комбинированными плазменными системами.
• Вакуумное промышленное технологическое оборудование.

Физико-термическое технологическое оборудование:
• Комплект физико-термического специального технологического оборудования.
• Физико-термическое научное и промышленное технологическое оборудование.